Équipement de dépôt de couches minces assisté par ions-

L'équipement de dépôt de couches minces assisté par ions de la série IA--intègre l'évaporation thermique par faisceau d'électrons-avec une source d'ions Kaufman ou End-Hall. Le bombardement ionique énergétique (mélange argon/oxygène) pendant le dépôt transfère l'élan aux adatomes, éliminant les vides colonnaires, supprimant l'absorption d'humidité et stabilisant les indices de réfraction. Conçue pour la R&D de haute-précision et la production continue, la chambre en acier inoxydable-maintient une pression de base inférieure à 5 x 10^-6 Pa pour fournir des films minces denses et stoechiométriques pour l'optique, les capteurs et les semi-conducteurs.

Densification des microstructures :Le bombardement ionique simultané augmente la densité de tassement proche des valeurs de masse en effondrant les joints de grains.

Contrôle intrinsèque du stress :Les rapports d'arrivée d'ions-à-atomes réglables empêchent le délaminage du film sur les substrats fragiles (silicium, germanium, silice fondue).

Adhérence améliorée :Le pré-nettoyage par gravure ionique élimine les oxydes natifs et les contaminants de surface avant le dépôt.

Automatisation en boucle fermée{{0} :L'architecture PLC automatise le séquençage du vide, l'actionnement de l'obturateur, la montée en puissance et les MFC à gaz.

Isolation thermique :Les parois de la chambre refroidies à l'eau et les écrans anti-radiation protègent les substrats du rayonnement du foyer des faisceaux électroniques.

Pompe à vide élevée :Pompe turbomoléculaire à sustentation magnétique (1 600 L/s pour N2) pour un fonctionnement sans huile-.

Étape d'ébauche :Palette rotative à entraînement direct-associée à un ventilateur Roots pour un croisement rapide.

Étanchéité et vannes :Vannes pneumatiques avec joints d'étuvage Viton/Métal-.

Verrouillages :Jauges Pirani et à cathode froide intégrées à des circuits de protection contre les surpressions.

Matériaux d'évaporation :
Oxydes (SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5)
Fluorures (MgF2, YF3)
Métaux réfractaires (Ti, Cr, Al)

Matériaux de substrat :
Silice fondue, verre optique, ZnSe, plaquettes de silicium, GaAs, acier inoxydable.

Optique de précision :Revêtements antireflet-, filtres passe-bande et miroirs à haute-réflectivité pour les systèmes de télécommunication laser et DWDM.

Fenêtres IR :Films antireflets protecteurs et durables sur les optiques d'imagerie thermique en germanium et en silicium.

Semi-conducteurs :Films isolants diélectriques et couches de passivation de contact métallique.

Optoélectronique :Couches d'oxyde conductrices transparentes pour réseaux de capteurs et écrans plats.

Géométrie de la chambre :Dimensions d'enveloppe sur mesure pour les gabarits de production spécialisés ou les optiques grand-format.

Intégration des sources :Configurations à double-pistolet électronique, bateaux à résistance thermique ou sources de craquage thermique réactif.

Automation:Progiciels de fabrication légers-conformes SECS/GEM-.

Appareils de substrat :Supports personnalisés pour lentilles incurvées, micro-prismes ou plaquettes de 300 mm.

Normes de conformité :Construit selon les directives des salles blanches CE et SEMI S2/S8.

Détection des fuites :Test au spectromètre de masse à l'hélium sur toutes les soudures (taux de fuite<= 1 x 10^-10 Pa*m^3/s).

Graver- :Fonctionnement à sec continu de 72 heures des traversées mécaniques et des verrouillages.

Vérification de l'homogénéité :Analyse spectrophotométrique vérifiant la répartition de l'épaisseur à +/- 1 % sur le support.

Délai de livraison :Le délai standard de fabrication, de FAT et de mise en caisse est de 16 à 20 semaines à compter de l'approbation technique-et du dépôt.

Préparation du site :Manuel d'utilisation complet fourni au préalable (spécifiant le débit d'eau glacée, la puissance 380 V et l'air comprimé).

Mise en service :Installation, étalonnage et réglage des processus sur-site par des ingénieurs de terrain expérimentés.

Prise en charge du cycle de vie :Pièces de rechange critiques stockées localement (filaments, cristaux de quartz, kits de joints) pour une expédition rapide.