Description de l'équipement:
· Introduction de l'équipement:
La pulvérisation de magnétron, l'équipement en film mince utilise la technologie de base mature de l'entreprise: Source de la pulvérisation de magnétron à haute énergie + Source de magnétron (pulvérisation de magnétron), l'équipement adopte un contrôle automatique complet, une optimisation intégrée modulaire, un équipement haute puissance, des performances stables, un fonctionnement simple et une maintenance facile. Afin de répondre à différents besoins de revêtement, la chambre peut être conçue et configurée avec une variété de cibles telles que des cibles circulaires planes, des cibles de bande et des cibles cylindriques, et peut obtenir des films composites multicouches avec une densité élevée et de bonnes performances uniformes, y compris divers métaux, des composants électroniques, des matériaux ferromagnétiques, ainsi que des oxydes et des films en céramique. L'équipement en film mince de pulvérisation de magnétron convient au développement de revêtement et aux services de revêtement par lots.
·Avantages de l'équipement:
Le matériel mince de pulvérisation magnétron express a une technologie de base unique, un champ magnétique spécialement conçu et un chemin de gaz de processus, améliorer efficacement le taux d'utilisation cible et la stabilité du processus à long terme;
Interface universelle modulaire express, directement compatible avec différentes formes de cibles de cathode, permettant une impulsion CC, if, mode de travail RF; Forte compatibilité;
Exprimez le système d'exploitation automatique de processus intelligent auto-conçu fournit des capacités de montage et d'appel de formule de processus complètes et pratiques, équipées d'un système de surveillance des paramètres de processus en temps réel, permettant une télécommande en ligne.
Champ d'application:
Le matériel mince de pulvérisation magnétron express peut être plaqué Cu, Au, Cr, Ni, Ta, Tin, Tic, Ticn, Tialn, CRN et autres oxydes métalliques, non métalliques et céramiques de toutes sortes de films et de films composites;
L'express peut être utilisé dans l'affichage des cristaux liquides, l'usure dure, les cellules solaires, la protection des matériaux et l'anti-corrosion, le verre de construction, la couche de film optique et décorative, le stockage d'informations magnéto-optiques, les matériaux ferromagnétiques et autres champs.
Type de revêtement:
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Type de revêtement |
Épaisseur du film (μm) |
Performance accessible |
Application principale |
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Ti / ni / cr / cu / ag, etc. |
0.5-10 |
Améliorer la soudabilité, améliorer le changement de couleur de blindage d'électromagnétique d'apparence, etc. |
Communications 5G Institut de recherche. |
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