Équipement à couches minces d’évaporation à l’arc

Ce système d'évaporation à arc cathodique vaporise des cibles cathodiques solides via un arc électrique à basse -tension et à courant élevé-pour générer un plasma métallique entièrement ionisé. Comparé à l'évaporation thermique standard ou à la pulvérisation magnétron, ce processus PVD offre une densité de plasma plus élevée et une adhérence supérieure du film-au-substrat, adapté aux revêtements durs fonctionnels,-résistants à l'usure et décoratifs.

Sources filtrées magnétiques :Les conduits magnétiques internes détournent les microgouttelettes non fusionnées du flux de vapeur, garantissant ainsi une faible rugosité de surface (Ra) pour les pièces de précision.

Contrôle de polarisation en boucle fermée :  Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 um).

Taux d'ionisation élevé :L'efficacité de l'ionisation plasma atteint 40 % - 80 %, permettant une liaison chimique dense sans assistance radiofréquence externe.

Conception de chambre modulaire :Fabriqué en acier inoxydable 304/316L avec surfaces internes électro-polies (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.

Pompes d'ébauche et de racines :Les pompes à palettes rotatives à deux étages associées à des surpresseurs mécaniques gèrent l'ébauche initiale et les charges de gaz élevées lors de l'injection réactive de N2 ou de C2H2.

Pompes à vide poussé :Les turbopompes moléculaires à sustentation magnétique (1200 - 3200 L/s) maintiennent des vitesses de pompage élevées pour la vapeur d'eau résiduelle et les gaz légers.

Vannes et jauges :Vannes pneumatiques, brides d'étanchéité à vide poussé ISO/CF et jauges à ionisation combinées Pirani/cathode chaude-intégrées directement dans la boucle de verrouillage PLC.

Cibles cathodiques compatibles
Métaux purs :Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Ni, Ag, Mo, W

Alliages et composés :TiAl, CrAl, TiSi, WC, cibles en graphite pour le dépôt de carbone de type diamant-(DLC)

Matériaux de substrat
Métaux durs et carbures :Carbures cémentés (WC-Co), acier rapide-(HSS), plaquettes de coupe en acier inoxydable

Semi-conducteurs et céramiques :Plaquettes de silicium, alumine (Al2O3), céramiques techniques d'ingénierie

Outils de coupe et matrices :Dépôt de TiN, TiAlN et CrN sur les forets, les fraises en bout et les matrices d'emboutissage pour augmenter la dureté de surface à 2500 - 3500 HV et réduire la friction.

Composants automobiles :Couches-résistantes à l'usure et à faible-friction sur les segments de piston, les broches d'injecteur et les dents d'engrenage.

Revêtements durs décoratifs :Revêtements de couleur PVD (or, or rose, bronze à canon, titane noir) pour les boîtiers de matériel et d'électronique grand public.

Films minces fonctionnels :Couches conductrices et barrières pour emballages de microélectronique et de semi-conducteurs.

Dimensionnement de la chambre :Variations de volume mises à l'échelle correspondant à des géométries de lots spécifiques et à des empreintes de production.

Hybridation des sources :Intégrations multi-cathode combinant des sources d'arc cathodiques avec des cathodes de pulvérisation magnétron déséquilibrée (UBMS) pour des films multicouches à gradient-.

Fixation du substrat :Gabarits planétaires personnalisés, réseaux de chauffage localisés jusqu'à 600 degrés et traversées de puissance personnalisées.

Intégration logicielle :Logique de recette API personnalisée, enregistrement des données SCADA et configurations de conformité industrielle.

Détection des fuites :Tests par spectromètre de masse à l'hélium sur toutes les chambres et cordons de soudure, garantissant un taux de fuite global de<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.

Inspection de sécurité électrique :Tests de tenue diélectrique à haut potentiel-, contrôles de continuité de mise à la terre et vérification de la réponse de verrouillage avant la mise en caisse.

Traçabilité des matériaux :Rapports de tests de matériaux (MTR) fournis pour l'acier inoxydable structurel, les joints sous vide et les composants d'isolation haute -tension.

Essai préalable à l'expédition :Test de fonctionnement à sec continu de 72 {{1} heures de l'ensemble de pompage, des entraînements de rotation et des alimentations électriques selon des cycles simulés.

Guide de préparation du site :Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 m^3/h à 20 - 25 degrés), extraction des gaz d'échappement et chutes électriques (380 V/480 V, triphasé, 50/60 Hz).

Mise en service et réception :Tests d'acceptation en usine (FAT) dans nos installations ; Tests d'acceptation sur site (SAT) et transfert de processus exécutés sur-site par des ingénieurs résidents.

Prise en charge du cycle de vie :Diagnostics à distance VPN sécurisés, stockage des pièces de rechange (cibles, boucliers, sceaux) et formation de maintenance des techniciens locaux.