Équipement à couches minces à arc cathodique

Système de dépôt physique en phase vapeur (PVD) utilisant des arcs électriques localisés à basse tension-et à courant élevé-pour vaporiser des cibles cathodiques solides en plasma entièrement ionisé. Le taux d'ionisation élevé (40 %-80 %) entraîne une liaison dense au niveau atomique-et une contrainte de compression élevée, permettant un dépôt-à taux élevé de revêtements décoratifs et résistants à l'usure-sur l'acier rapide (HSS), les outils de coupe en carbure, les composants automobiles et les dispositifs médicaux.

Haute efficacité d'ionisation :Le taux d'ionisation du plasma atteint 40 %-80 %, garantissant une adhérence supérieure du film-au substrat.

Cathodes modulaires :L'assemblage cible à changement rapide-minimise les temps d'arrêt pour maintenance ; compatible avec les cathodes cylindriques planes et rotatives.

Contrôle du gaz en boucle fermée{{0} :Les régulateurs de débit massique MKS maintiennent des pressions partielles de gaz réactifs précises pour les films composés (TiAlN, TiCN).

Rotation planétaire multi-- :Les entraînements de rotation et de révolution personnalisés garantissent l'uniformité de l'épaisseur (± 5 %) sur les géométries 3D complexes.

Fonctionnement en double-mode :Prend en charge l'intégration de l'évaporation à l'arc CC et de la pulvérisation polarisée pulsée pour les architectures multi-couches.

Pompes grossières :Combinaison de pompes à racines et à palettes rotatives pour un pompage rapide-de l'atmosphère à 10 Pa.

Pompe à vide poussé :Pompe turbomoléculaire à lévitation magnétique (1 600–3 200 L/s) garantissant une pression de base sans hydrocarbure-.

Vannes et jauges :Vannes pneumatiques à vide poussé-avec verrouillages Pirani et à ionisation à cathode froide pour empêcher le reflux d'huile.

[Guide visuel pour le producteur Web] :Insérez une photo schématique ou claire de la disposition de la plomberie sous vide, mettant en évidence le positionnement de la pompe turbomoléculaire et du robinet-vanne pneumatique.

Cibles cathodiques standard (pureté supérieure ou égale à 99,95 %)
Métaux de transition :Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (rapports atomiques 50/50, 33/67), CrAl, W, Nb, Si.

Alliages et composés :Graphite (pour intercalaires DLC), acier inoxydable.

Compatibilité des substrats et pré-traitement
Matériels:WC-Outils de coupe Co, fraises à tailler, broches, matrices d'emboutissage, moules à injection, alliages de titane (grade 5) et acier inoxydable.

Pré-Traitement :Dégraissage au solvant par ultrasons et nettoyage par bombardement ionique in situ (gravure au plasma Ar⁺) à l'intérieur de la chambre avant dépôt.

Outils de coupe et de formage :Les revêtements TiN, TiAlN et AlCrN augmentent la dureté de surface à 3 000–3 500 HV, supprimant la cratère thermique et l'usure abrasive.

Composants automobiles :Revêtements-réducteurs de friction pour les segments de piston, les axes d'injection de carburant et les composants d'engrenages.

Implants médicaux :Revêtements durs biocompatibles TiN et ZrN sur les arthroplasties orthopédiques et les vis chirurgicales.

Quincaillerie décorative :Production du spectre de couleurs (laiton doré, or rose, noir bronze, gris titane) via réglage du gaz réactif.

Géométrie de la chambre :Configurations de chargement vertical (monté en fosse-ou au sol-) ou de chargement frontal horizontal-.

Configuration source :Sources de conduits magnétiques à arc cathodique filtré (FAC) pour éliminer les macroparticules pour l'optique ou l'électronique de précision.

Automation:Bras de chargement robotisés, intégration d'amarrage AGV et protocoles d'enregistrement de données MES.

Détection des fuites :Tests au spectromètre de masse à l'hélium sur toutes les chambres et cordons de soudure (inférieur ou égal à 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s).

Sécurité électrique :Résistance d'isolation haute-tension, continuité de la mise à la terre et vérification fonctionnelle du verrouillage API.

Essai (FAT) :Test de fonctionnement à sec continu de 72-heures-plus test de dépôt de revêtement standard évalué via Calo-test (épaisseur) et un testeur de rayures (adhérence).

Dossier de documentation :Schémas électriques, diagrammes P&ID, codes sources PLC, certificats de matériaux et rapports FAT.

Préparation du site :Dessins d'implantation détaillés, mesures de l'eau de refroidissement et spécifications de distribution électrique fournis 4 semaines avant l'expédition.

Mise en service :Assemblage mécanique sur site, étalonnage du vide et remise des recettes par des ingénieurs de procédés expérimentés.

Entraînement:-Instructions pratiques couvrant la maintenance du matériel, le dépannage du vide et les protocoles de sécurité.

Soutien:Intégration d'un logiciel de diagnostic à distance pour-le dépannage des automates en temps réel, soutenu par un inventaire régional de pièces de rechange.