Système à couches minces à arc sous vide

Le système industriel de couches minces à arc sous vide utilise l’évaporation à l’arc cathodique pour déposer des couches minces denses et hautement adhérentes de métaux, d’alliages et de céramique. Un arc à courant élevé-et à basse tension-vaporise les matériaux cathodiques solides en un flux de plasma hautement ionisé (taux d'ionisation de 40 % - 80 %), garantissant une force de liaison exceptionnelle du film-au-substrat et des taux de dépôt élevés.

Conçue pour la production industrielle et la recherche sur les matériaux avancés, la plate-forme intègre des configurations multi-cathodes, une gestion précise des gaz réactifs et un contrôle automatisé des processus pour les revêtements industriels tels que TiN, TiAlN, CrN et DLC.

Ionisation élevée du plasma :L'ionisation par arc cathodique (40 % - 80 %) favorise la nucléation d'un film dense, éliminant les défauts de microstructure colonnaire.

Force d'adhérence améliorée :Le nettoyage ionique à haute énergie-in situ-atteint des charges de rayures critiques (Lc) supérieures à 40 N sur l'acier à outils (vérifié ASTM C1624).

Filtration magnétique toroïdale (en option) :Dévie les trajectoires du plasma pour piéger et éliminer les macro-gouttelettes, produisant ainsi des-nanorevêtements lisses et sans défauts-.

Contrôle réactif en boucle fermée{{0} :Les contrôleurs de débit massique (MFC) régulent avec précision N2, O2, C2H2 et Ar pour le dépôt de composés stoechiométriques.

Entretien rapide :L'assemblage cathodique à dégagement rapide-permet le remplacement de la cible dans les 30 minutes.

Étape d'ébauche et d'enracinement :Palette rotative à entraînement direct-et pompe de surpression mécanique pour un rabattement rapide jusqu'à 10 Pa.

Étape de vide poussé :Pompe à diffusion d'huile avec piège froid à azote liquide ou pompe turbomoléculaire à lévitation magnétique (1600 L/s) atteignant < 5 x 10^-4 Pa.

Jauges et verrouillages :Jauges d'ionisation doubles Pirani et à cathode froide associées à des vannes pneumatiques automatisées et des verrouillages PLC.

Cathode Targets (Purity >= 99.95%):
Métaux :Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, Au

Alliages/Composés :TiAl, TiSi, CrAl, WC, graphite (C)

Matériaux de substrat :
Aciers à outils :SKH51, M2, D2, plaquettes carbure

Alliages :Acier inoxydable 304/316L, Inconel, Ti-6Al-4V

Céramique/Verre :Alumine, quartz (activation de surface requise)

Outils de coupe et de formage :Revêtements TiN, TiAlN et AlCrN sur forets, fraises en bout et matrices d'emboutissage (dureté : 2500 - 3200 HV).

Composants automobiles :Revêtements à faible-friction et résistant à l'usure-sur les segments de piston et les axes d'injection de carburant.

Quincaillerie décorative :Finitions métalliques fonctionnelles (or, or rose, noir bronze) pour le matériel grand public.

Implants biomédicaux :Revêtements durs biocompatibles sur dispositifs chirurgicaux et dentaires (profils compatibles ISO 10993).

Échelle de chambre :Chambres rectangulaires ou cylindriques agrandies pour les lots-de gros volumes.

Configurations hybrides :Intégration technologique double- associant des sources d'arc cathodiques à une pulvérisation magnétron déséquilibrée (UBMS).

Modes de biais :Intégration de polarisation RF pour substrats isolants ou semi-conducteurs.

Intégration des données :Protocoles OPC UA / Modbus TCP pour la connectivité MES.

Exécuté selon les normes de gestion de la qualité ISO 9001 :

Détection de fuite d'hélium :Tests au spectromètre de masse sur toutes les soudures (taux de fuite du système<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s, ISO 3529 compliant).

Sécurité électrique :Résistance d'isolation et continuité de mise à la terre auditées selon CE/IEC 60204-1.

Validation fonctionnelle :Fonctionnement à sec mécanique et électrique continu de 72 heures.

Tests d'acceptation en usine (FAT) :Dépôt d'essai vérifiant l'uniformité de l'épaisseur (+/- 5 %) et les mesures d'adhésion sur les coupons de test clients.

Pré-vérification de l'établissement :-Complete utility blueprint detailing cooling water (>= 5 m^3/h), capacité de puissance et ventilation d'échappement.

Sur-Mise en service sur site :Placement mécanique supervisé, branchement des services publics et qualification du vide par des ingénieurs sur le terrain.

Formation des opérateurs :Programme pratique de 5 -jours couvrant le fonctionnement de routine, la maintenance, le remplacement de cibles et la programmation de l'automate.

Service de cycle de vie :Diagnostics à distance VPN sécurisés et expédition des pièces de rechange critiques sous 48 heures.