Équipement de dépôt de composites PVD

L'équipement industriel de dépôt de composites PVD est conçu pour la fabrication de films minces multi-composants, multi-couches et nano-composites-. Le système intègre des sources d'évaporation thermique, d'évaporation par faisceau électronique - et de pulvérisation magnétron dans un seul environnement sous vide pour contrôler la composition du film, la netteté de l'interface et la contrainte résiduelle. Conçue pour une R&D et une production continues, l'architecture présente une faible pression de base, une configuration de source modulaire et un accès propre à la maintenance.

Intégration de sources modulaires :Les ports de la chambre permettent le fonctionnement simultané ou séquentiel des sources d'évaporation et de pulvérisation sans-contamination croisée.

Manipulation dynamique du substrat :Les mécanismes d'entraînement planétaire ou de rotation multi-axes ou pivotants assurent un revêtement conforme sur des substrats 3D complexes et des tranchées profondes.

Ports de surveillance-in situ :Brides pré-préalignées pour microbalance à cristal de quartz (QCM), spectroscopie d'émission optique (OES) et surveillance optique à large bande (BOM).

Intégrité du vide de haute-pureté :Brides conflat (CF) scellées en métal, vannes pneumatiques et tests d'étanchéité par spectromètre de masse à l'hélium jusqu'à 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s.

Sécurité de verrouillage automatisé :Le-retour du capteur en temps réel protège contre les pannes d'eau de refroidissement, les pertes d'air comprimé et les-anomalies de température.

Pompes d'ébauche et de racines :Des pompes à vis sèches sans huile combinées à des surpresseurs Roots empêchent le reflux d'hydrocarbures dans la chambre de traitement.

Pompes à vide-élevées :Pompes turbomoléculaires à lévitation magnétique ou pompes cryogéniques à l'hélium en boucle fermée-sélectionnées en fonction des exigences de charge de gaz cible.

Régulation de pression :Les contrôleurs de papillon des gaz intégrés aux manomètres capacitifs maintiennent une pression de processus stable (0,1 Pa à 10 Pa) pendant les cycles réactifs.

Filtres d'interférence optique :Revêtements antireflet (AR) multi-couches, filtres passe-bande et miroirs hautement-réflecteurs pour lasers et capteurs.

-Revêtements durs résistants à l'usure: Revêtements nanocomposites de nitrure (TiAlN/Si3N4) sur outils de coupe de précision et commandes de soupapes automobiles.

Films minces microélectroniques :Couches barrières conductrices, couches de germes et piles de métallisation de contact pour le conditionnement de semi-conducteurs.

Films énergétiques fonctionnels :Oxydes conducteurs transparents (TCO) et couches absorbantes pour dispositifs photovoltaïques et capteurs.

Dimensions de la chambre :Volume mis à l'échelle de l'échelle de R&D (cube de 400 mm) à l'échelle de production (Dia. 1200 mm cylindrique).

Dispositions des ports sources :Positionnement personnalisé de la bride pour intégrer des sources d'ions-tiers, des dépôts assistés par plasma-(PAD) ou des générateurs de polarisation RF.

Charger l'intégration du-verrouillage :Configurations d'outils de verrouillage de charge manuel-, de-charge de plaquette unique-ou de cluster à plusieurs-chambres pour éviter l'oxydation.

Conformité mondiale en matière d'électricité et de sécurité :Armoires de commande construites selon les directives UL 508A / NFPA 79 (Amérique du Nord), CE (Europe) et SEMI S2/S8 EHS.

Test sous vide :Les chambres soudées sont soumises à une détection de fuite par spectromètre de masse à l'hélium avant la finition de la surface.

Contrôle dimensionnel :Vérification par machine à mesurer tridimensionnelle (MMT) des plans de montage de la source et des tolérances du substrat.

Test d'acceptation en usine (FAT) :Test de fonctionnement à sec continu de 72{{1}heures-enregistrant la décroissance de la pression de base, les courbes de pompage et les journaux de réponse de l'automate.

Ingénierie préalable à l'installation :Fourniture de manuels sur les exigences des installations (utilitaires, débit/pression de l'eau de refroidissement, ventilation par aspiration, charge au sol de la salle blanche).

Sur-Mise en service sur site :Les ingénieurs de service sur site supervisent le montage, le branchement des conduites de vide, le raccordement électrique-et le pompage initial-.

Assistance au réglage des processus :Essais collaboratifs avec les équipes d'ingénierie des clients pour vérifier l'uniformité du film et les taux de dépôt.

Prise en charge du cycle de vie :Intégration d'un module de diagnostic à distance pour-le dépannage de l'automate en temps réel, pris en charge par un inventaire localisé des pièces de rechange.